Vakum-doldurma sıralaması


Bu sıralama, vakum-doldurma için bir yardım işlemidir. Normalde kapalı olan tüm ABS-valfleri (NC) 0,5 Hz'lik bir frekans ile 10 kez açılacaktır.

Not:

Etkilenecek olan valfler, 4 çıkış valfi ve 2 geri hareket (EUV) valfidir.

Test koşulları:

Prosedür:

  1. "Sequence for vacuum-filling" (Vakum-doldurma sıralaması) işlemini seçiniz.

  2. Devam etmek için "OK" tuşunu veya iptal etmek için "Cancel" tuşunu seçiniz.

  3. Bu işlem, valflerin 10 kez açılıp/kapanmasını gerçekleştirecektir.

  4. Sıralama sonra erdiğinde bir iletişim kutusu "Done" (Tamamlandı) diye gösterir.