Pracovní postup pro plnění vakua


Pracovní postup slouží jako podpora pro plnění vakuem. Všechny ABS ventily jsou obvykle uzavřené (NC), otevírají se 10 při frekvenci 0,5 Hz.

Poznámka:

Pracovní postup se týká ventilů se 4 vývody a 2 zpětných ventilů EUV.

Podmínky testu:

Postup:

  1. Zvolte funkci "Sequence for vacuum-filling" (Pracovní postup pro plnění vakua)

  2. Zvolte OK a pokračujte nebo Cancel (Storno) k přerušení.

  3. Funkce provede 10 otevření/zavření ventilu.

  4. Dialogové okno zobrazí "Done" (provedeno), jakmile je pracovní postup ukončen.