Последовательность вакуумного наполнения


Эта последовательность - вспомогательная функция для вакуумного наполнения. Все клапаны АБС нормально закрыты (NC), будут открываться 10 раз с частотой 0,5 Гц.

Примечание:

Клапаны, на которые производится воздействие - 4 выпускных клапана и 2 реверсивных (EUV) клапана.

Условия проведения теста:

Процедура:

  1. Выбрать функцию "Последовательность вакуумного наполнения".

  2. Выберите "OK", чтобы продолжать, или "Cancel" для отмены.

  3. Функция выполнит 10 открываний /закрываний клапанов.

  4. Когда последовательность будет закончена, появится диалоговое окно "Done" (Сделано).